描述
近几年，采用MEMS技术的微型卫星、微型飞行器和进人狭窄空间的微型机器人，也展示了诱人的应用前景。现在MEMS已形成年产值14O亿美元的规模，预计5年后将达到300多亿美元的规模。
MEM是以电子制造的方式设计与制造的微机电系统，他是多种学科的交叉融合，已成为当今国际高技术竞争的一个热点，MEMS产业也正在形成之中。为此各国政府都非常重视MEMS技术，美国国防部近几年每年投人7000万美元用于MEMS研究，德国也投入约7000万美元用于MEMS的研究。MEMS对我国而言是个挑战，也是一个难得的发展机遇
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